用通風系統內的新鮮空氣稀釋含臭氧的尾氣往往是一項實用方法。不過，直接達到排放尾氣1.46×10^-9 mol/L臭氧安全目標所需的稀釋比可能是很高的，例如在5000~10000之間。所以此法只有在剩余臭氧進一步利用，例如通過預臭氧化，確保適當的大氣稀釋比如8~10，配接排氣煙筒之后才是切實可行的。用機械通風100~120的稀釋比足夠。吸氣點壓力降10mmH₂O，運行能耗等于8~10W·h/m³尾氣。

盡管運行成本極為有利，此項技術還是很少應用。主要問題是巨型離心通風機所產生的噪音超過60分貝的容許極限，同時，不同生產條件下氣體流量調節(jié)的可變性極小并可能干擾臭氧接觸的進行。稀釋法的實際設計應用是采用裝在噪音吸收室內的空氣噴射器從而抽出尾氣。采用這一技術，只需很少控制設備。

比利時諾托梅爾（Notmeir）水廠，在臭氧處理能力不大（最大6kgO₃/h）的情況下，臭氧化處理排出的尾氣可同內燃機或水泵發(fā)動機的廢氣混合。在后一種情況下剩余臭氧同廢氣中的雜質起反應。從而，所需的稀釋比可降低到35（最大），乃至于在極端情況下降到10。